洁净室检测
1、空气过滤
1)空气过滤器是当前空气净化重要的手段。所有送入洁净室的空气应经初效、中效、或亚过滤器的过滤。
2)初效过滤器主要用作对新风及大颗粒尘埃的控制，主要过滤对象是＞10μm的尘粒；中效及高中效过滤器主要用作对末级过滤器的预过滤和防护，主要处理对象是1～10μm尘粒；亚过滤器用作终端过滤器或作为过滤器的预过滤，主要处理对象＜5μm的尘粒；过滤器作为送风及排风处理的终端过滤，主要过滤＜1μm的尘粒。(1) 空气过滤器的性能
空气过滤器的性能有风量、过滤效率、空气阻力和容尘量等指标，它们是评价空气过滤器的四项主要指标。总的来说希望过滤器的、阻力小而容尘量大。
(2) 过滤器在空气净化系统中的应用
1.在空气净化系统中从吸入新风开始，洁净厂房检测，一般分为三级过滤：一级使用初效过滤器，第二级使用中效或亚过滤器，第三级使用过滤器。
——洁净室检测之悬浮粒子检测注意事项——
A、室内测试人员必须穿洁净服，不得超过2人，应位于测试点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。
B、设备要在校准期内使用。
C、检测前和检测后设备“清零”
D、在单向流区域，所选择的采样探头应接近等动力采样，洁净厂房，进入采样探头的风速与被采空气的风速偏差不应超过20%。若无法做到这一点，洁净厂房空调，将采样口正对气流的主方向。非单向流的采样点，采样口应竖直向上。
E、采样口至粒子计数器传感器的连接管应尽量短。
采样点一般离地面0.8-1.2m左右，要均匀科学布点，而且要避开回风口。对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目都不得少于2个，总采样数可根据面积开2次根求得。
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