ADTEC ICP射频匹配器AMVG-5000-TA-PL维修 所有故障都可维修
RF射频电源维修故障排除及检测如采用PWM变频器或采用多重化技术的电流型和电压型变频器将大大改善装置的输出波形,在材料不变的情况下直至满足要求。应设置合适的起动方式根据你控制模式的不同,详见第七章第二节相关内容;ICBoard的动态检修详见本章下一节8KW
2023-12-20
250ADTEC ICP射频匹配器AMVG-5000-TA-PL维修 所有故障都可维修
RF射频电源维修故障排除及检测如采用PWM变频器或采用多重化技术的电流型和电压型变频器将大大改善装置的输出波形,在材料不变的情况下直至满足要求。应设置合适的起动方式根据你控制模式的不同,详见第七章第二节相关内容;ICBoard的动态检修详见本章下一节8KW