ADTEC射频电源维修AX-2000III；等离子电源维修；镀膜电源维修AX-600III
射频电源设备维修包括：刻蚀，RIE,PECVD,ICP,射频溅射，CVD和PVD等系统，CPSΜ射频电源匹配器及RF射频电源发生器维修。
应用范围：主要服务于太阳能光伏、PVD镀膜，半导体薄膜、离子注入、刻蚀，平板显示，光盘、光电子LED等制造工艺以及科研院校、研究所等设备的高压、直流、射频电源。主要包括高压电源HV PSU、射频电源RFG、匹配网络RF Match、直流电源DC POWER、微波发生器等，提供设备维护维修保养整包、批量产品维修。