控制器维修IG-1-0308
一、RF Generator射频电源维修和配套直流电源
1、AE（ADVANCED ENERGY）射频电源/直流电源
2、MKS ENI射频电源/直流电源
3、DAIHEN射频电源
4、KYOSAN射频电源/直流电源
5、COMDEL射频电源
6、ADTEC射频电源
7、SEREN射频电源
二、RF MATCH(射频电源匹配网络)
1、AE （Advanced Energy） RF Match Network
2、LAM RF Match Network
3、AMAT RF Match Network
4、SEREN RF MATCH NETWORK
5、DAIHEN RF Match Network
6、SEREN RF Match Network
三、高压电源
1、HiTek Power supply高压电源
2、ADVANCE HIVOLT高压电源
3、Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高压电源
4、GLASSMAN高压电源
5、SPELLMAN高压电源
6、Varian高压电源
7、其他品牌
四、直流电源
1、LAMDBA ESS/EMI直流电源
2、Delta ELEKTRONIKA直流电源
3、SORENSEN直流电源
4、AMETEK可编程电源
5、POWER TEN直流电源
6、灯丝电源、X射线电源
7、曝光灯电源USHIO（ Mercury lamp power supply）
五、微波电源发生器
1、ASTeX AGL系列微波电源Microwave Generator
2、MUEGGE Microwave Power波电源
3、ASTeX Smart Match