活性氧废气净化设备利用高频高压静电的特殊脉冲放电方式（发射装置每秒钟发射上千亿个高能离子），产生高密度的高能活性氧（介于氧分子和臭氧之间的一种过渡态氧），迅速与污染物分子碰撞，激活有机分子，并直接将其破坏；或者高能活性氧激活空气中的氧分子产生二次活性氧，与有机分子发生一系列链式反应，并利用自身反应产生的能量维系氧化反应，进一步氧化有机物质，生成二氧化碳和水以及其它小分子，而且可以在极短的时间内达到很高的处理效率。
由于上述过程是在常温下进行的，因此也称为“低温燃烧”过程，包括了许多种技术和作用，如过氧化氢、·OOH的催化作用和紫外线作用，这是一个极端复杂的物理过程，产生O2、O2-、O2+、·OH、·H02、·O、O等氧簇聚集体，由于具有极强的氧化能力，因此我们称其为“活性氧”。
根据实验结果，并结合国外采用氧化法处理恶臭的资料，基本确定AOE设备处理各种恶臭组分的机理和主要产物。恶臭污染物中主要含有的气相污染物有H2S、NH3、CH3SH、VOCs（挥发性有机化合物）等。活性氧去除上述污染物的主要途径有两条：一是在高能电子的瞬时高能量作用下，打开某些有害气体分子的化学键，使其直接分解成单质原子或无害分子；二是在大量高能电子、离子、激发态粒子和氧自由基、氢氧自由基（自由基因带有不成对电子而具有很强的活性）等作用下的氧化分解成无害产物。
其反应机理为：
H2S + O2、O2-、O2+ → SO3 + H2O
NH3 + O2、O2-、O2+ → NOx + H2O
VOCs + O2、O2-、O2+ → SO3 +CO2+ H2O
二、工艺流程
活性氧废气除臭系统主要有气体收集系统、活性氧除臭设备、电控装置、排放装置等组成。
三、适用场所
1. 封闭的污水处理车间，如粗细格栅、进水泵房、格栅间等等
2. 封闭的垃圾打包间、垃圾分拣车间、粪便销纳车间等
3.污水处理厂，垃圾渗滤液
4. 气味较重的生产车间：肉食加工厂、油漆、环氧树脂加工厂、化装品厂、化工厂
其中在污水处理过程中的除臭效果尤其明显。