在洁净车间的装修施工过程中，需要使用到一些特殊的工具，包括无尘切割机、洁净电钻、洁净吸尘器等。这些工具能够有效地减少粉尘、异味等污染物的产生，确保车间的洁净度。
一、环氧地坪
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洁净车间的地面需要选用耐酸碱、耐磨损、易清洁的地面材料，如环氧地坪。在进行施工前，需要对地面进行清理，确保地面平整无尘，然后进行底涂、中涂、面涂等步骤，后施工防静电涂层。施工完毕后，需要进行验收，并进行清洁消毒。
二、墙面
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洁净车间的墙面需要选用无缝防潮、易清洁的墙面材料，如不锈钢板、铝合金板、硬质PVC板等。在进行施工前，需要对墙面进行清理、防潮处理，并在角落处安装圆弧线条，以方便清洁和消毒。墙面安装完毕后，需要进行密封处理，确保墙面与地面、天花板无缝连接。
三、天花板
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洁净车间的天花板需要选用无尘、防静电、易清洁的材料，如铝合金天花板、封闭式PVC天花板等。在进行施工前，需要对天花板进行清理，并在天花板与墙面连接处进行密封处理。天花板施工完毕后，需要进行验收，并进行清洁消毒。