美国罗门哈斯公司的超纯水树脂Amberjet™ UP6040系列产品,采用较新的喷射制造工艺,开发了高纯度、高质量的均粒树脂,用于超纯水系统高效分床、再生混床及终端抛光混床。 其杰出的表现在于使出水水质近乎完美----18MΩcm,TOC控制在较低水平。
罗门哈斯Amberjet UP6040和组成它的树脂是经过后处理及再生以保证离子的较低平衡泄漏。发货的树脂其有较高的再生型态H型和OH型。在进水得到充分的处理及合理的混床设计情况下,Amberjet UP6040的出水电阻率能达到18M.cm,其二氧化硅系统中单靠一个单元不可能完全保证水质的纯度。事实已经证明Amberjet UP6040在超纯水系统中有能力生产出高纯度的水。
罗门哈斯UP6150/6040主要应用于:微电子行业中的半导体元器件、高性能显示器、计算机芯片及高精度的设备制造等要求超纯度水领域。
产品技术指标:Amberjet™ UP ----超纯水树脂系列产品名称 | Amberjet™ UP6150 | Amberjet™ UP6040 |
类 型 | 超纯混床树脂 (抛光树脂) | 超纯混床树脂 (抛光树脂) |
含 水 量% | H+ 44-54 OH- 54-64 | H+ 44-51 OH- 54-60 |
总交换容量 Eq/L≥ | 0.86 | H+ 2.00 OH- 1.10 |
堆积密度g/L | 730 | 710 |
均一系数 | H+ ≤1.20 OH-≤1.25 | ≤1.2 |
主要粒径 | H+580-680 OH-580-690 | H+ 1.20 OH- 1.2 |
主要用途特点 | 超纯水用精处理混床,适用于生产半导体集成电路、显示器、硬盘、CD-ROM等用水 | 较端超纯水用终端精处理混床。非再生树脂。 |
建议运行条件 | Amberjet™ UP6150 | Amberjet™ UP6040 |
进水温度 | 15-25℃ | 15-25℃ |
较小床深 | 900mm | 900mm |
运行流速(普通混床) | 20-30BV/h | / |
运行流速(精处理混床) | 30-40BV/h | 30-50BV/h |
精处理混床进水质标准 | ||
电阻率 | >16MΩ·cm | >17MΩ·cm |
硅 | <5ppb | <2ppb |
TOC | <20ppb | <15ppb |
*1BV(床体积) -1m3溶液/m3树脂 |