此款预抽真空高温气氛炉通过预抽真空,确保炉膛内氧含量降到低。然后通入氮气、氩气或者氮氢混合气体,从而在气氛保护下获得理想的热处理效果。因其的气氛环境以及紧凑实用性,目前已广泛的应用于材料实验室或者半导体、氮化硅等产品的小批量生产。
高温气氛炉特点室温~1700℃
炉膛采用氧化铝多晶纤维,温场均衡无污染。
全密闭结构炉膛, 壳体双层加厚钢板,可承受0.1Mpa 压力。
顶部,左侧,右侧,背部均采用12mm的实心方钢做加强筋,抽真空不变形。大抽真空度可到-0.08MPa.
控温系统采用工业精度0.2级智能仪表,PID调节,51段编程。
炉门密封性能好,四个手轮紧锁炉门 ,硅胶圈密封。
高温气氛炉标准配件炉门挡火砖(1200型除外)
高温手套
坩埚钳
说明书
加热元件两支(1200型除外)
旋片真空泵
可选配件直连式真空泵
触摸屏/电脑连接软件
专用坩埚/多层窑具
加热元件(硅钼棒,硅碳棒)
气路系统(浮子/质子流量计,2路/3路气体)