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洁净室的空气净化处理就是根据房间不同的洁净度等级要求，采用不同方式送入经过处理的数量不等的清洁空气，同时排走相应数量的携带有在室内所产生的污染物质沾污的脏空气，靠这样的动态平衡，使室内环境维持在所需的空气洁净度等级。通常所指的空气污染物质主要有以下三类；悬浮在空气中的固态、液态粒子，包含附着在粒子上的分子污染物；霉菌、等悬浮在空气中的微生物；各种对人体或生产产品有害的气体。目前洁净室对送入空气的净化方法，重要和使用广泛的方式是空气过滤法，送入洁净室的清洁空气，主要是靠在送风系统的各部位设置不同性能的空气过滤器，用以除去空气中的悬浮粒子和微生物。
除了合理确定纯水制取的流程外，纯水特别是超纯水的输送设计也是极其重要的，这里主要是出水输送水配管的设计及管道材料的选择。随着生产工艺对纯水水质的不断提高，甚至到了理论纯水的程度，尤其是集成电路的发展不但对水中电解质的含量要求极其严格，而且对、微粒、有机物及溶解氧等都有极其严格的要求，除了严格的纯水制造过程外，纯水输送管道的管材选择和管网设计是保证使用点水质的关键。
循环水量宜为使用量的30%-****；干管流速宜为1.5-3m/s；不循环的支管长度应尽量短，其长度不宜大于6倍管径；供水干管上应设有清洗接口；管道系统各组成部分必须密封严格，不得又渗气现象。管道内壁的光洁度管道内壁如有微小的凹凸，会造成微粒的沉积和微生物的繁殖，导致微粒和两项指标的不合格，PVDF管道粗糙度可达<1μm，而不锈钢管约为几十微米；管道及管件的接头处的平整度对于防止产生水流的涡流区是非常重要的。除了选择合适的管材外，管道定期清洗液是保证水质的重要手段，主要是防止长期运行后，内壁产生沉积物及微生物积聚使水质下降，因此在涉及车间内纯水管道时要留有排空和清洗的接口。
各类洁净厂房都需要使用不同品质要求的压缩空气，用它作为产品生产过程的动力用气、吹扫气和仪器仪表用气，大多数工业企业不论规模大小都设有容量大小不同的压缩空气机、冷却器、空气装置、缓冲罐（亦称贮气罐）、空气过滤器等，根据各种产品生产工艺对压缩空气供气品质的要求不同，压缩空气供气系统有不同的供气方式。