六氟化硫，化学方程式为SF6，是一种没有颜色、无臭、无毒性、难燃的平稳汽体，相对分子质量为146.06，在20℃和0.1MPa时相对密度为6.1kg/m3，约为空气的密度的5倍，六氟化硫在常温常压下为汽态。六氟化硫分子式呈八面体排列，引线键合间距小、键合能高，因而其可靠性很高，在溫度不超过180℃时，它与电气设备构造资料的适应性和氢气类似。
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