东莞市某半导体公司生活污水统一排入市政污水管网，厂内建有工业废水处理站，主要用于处理车间生产废水、公用辅助设施废水，设计总处理规模2000m3/d。由于废水水质成分复杂，根据车间的生产工艺特点，将不同生产线的废水分类收集处理。本工程废水共分为9类，根据各类废水的水质特点进行分类处理。
1、废水处理工艺选择
1.1 A类废水
该类废水主要含水基切削液、硅粉及金粉，水量388m3/d。PH值6-9，同时含有一定的有机污染物。水质相对比较简单，主要污染物浓度及电导率较低。设计采用“气浮处理系统+水解酸化池+MBR+活性炭过滤罐”的处理工艺，处理后的水全部回用。利用溶气罐产生的微小气泡附着在悬浮物颗粒上，能够将绝大部分悬浮物去除;后续通过水解酸化降解水中的有机物，后经过MBR膜及活性炭过滤罐的过滤截留后，泵至车间纯水系统回用。浮渣中的贵金属经过板框压滤机脱水后回收利用。
1.2 B类废水
该类废水主要为车间纯水系统的浓水，水量98.5m3/d。电导率适中，污染物较少，PH值6-9;可用于废水处理站的配药用水，剩余部分泵入C类废水调节池。
1.3 C类废水
该类废水主要为车间纯水系统的浓水及高压射水，水量283.9m3/d。电导率较低，PH值8-9;其污染物成分也比较简单，主要为TP(浓度15-20mg/L)、COD(浓度≤80mg/L)，采用“混凝沉淀+MCR+RO系统”的处理工艺。混凝沉淀去除TP及部分COD;MCR进一步截留水中的悬浮物及有机物，MCR出水进入RO处理系统;RO产水回用，浓水进入F类废水调节池。
1.4 D类废水
该类废水主要为车间除油洗水，水量284.2m3/d。其电导率适中，PH值8-9;水质相对容易处理，主要污染物为TP(浓度1-5mg/L)、COD(浓度≤30mg/L)。采用“混凝沉淀+MCR+RO系统”的处理工艺，混凝沉淀去除TP及部分COD;MCR进一步截留水中的悬浮物及有机物，MCR出水进入RO处理系统;RO产水回用，浓水进入F类废水调节池。
1.5 E类废水
该类废水主要为镀锡洗水与酸蚀洗水，水量568.4m3/d。废水中污染物浓度种类较少，主要污染物为重金属离子(Cu2+离子浓度20-50mg/L，Sn2+≤30mg/L)，电导率适中，水质相对容易处理。采用“混凝沉淀+MCR+RO系统”的处理工艺。混凝沉淀去除重金属离子及部分COD，MCR进一步截留水中的悬浮物及有机物，MCR出水进入RO处理系统;RO产水回用，浓水进入F类废水调节池。
1.6 F类废水
该类废水主要为厂内办公及车间空调排水、楼顶废气处理系统的喷淋水及C、D、E类废水的RO浓水，水量279m3/d，废水处理后外排(排放标准见表1)。废水有机物含量相对比较低(COD≤100mg/L)，但废水排放标准对COD指标的要求较严格。由于废水的可生化性相对较差，仅靠常规的生化处理COD很难稳定达标，需要增加深度处理工艺。此外，由于废水水质成分比较复杂，要求处理工艺既能去除废水中的重金属，也能去除水中的TP。结合各种工艺的优缺点，设计采用“微电解+混凝沉淀+厌氧+缺氧+好氧MBR+臭氧氧化+生物碳滤池”的工艺处理后达标排放。
1.7 G、H、I类废水
该类废水主要为包括除油母液、活化槽液及酸蚀槽液，水量2.1m3/d。有机污染物浓度极高(除油母液COD高达mg/L)，电导率超高(电导率在Us/cm)，强酸强碱(活化槽液及酸蚀槽液PH值≤2，除油母液PH值10-12)，重金属含量高(酸蚀槽液中的Cu2+含量高达20000mg/L)。这三类废水处理难度极高，但水量比较少，分类收集后采用“MVR强制循环蒸发处理系统”，设计6倍浓缩比，处理后的浓缩液委外处理，水蒸气冷却后进入F类废水调节池。
2、系统运行分析
2.1 A类废水
该类废水水质较为简单，主要污染物为SS、COD，且浓度较低。废水经过处理后泵入车间纯水系统回用。该类废水经过水解酸化池、MBR及活性炭过滤罐后，SS及COD基本可以满足车间纯水系统的预处理要求。但车间纯水处理系统对进水中的电导率的要求比较高，由于采用有气浮处理系统，需要通过投加酸碱调节PH值，同时需投加PAC及PAM以提高气浮效果。该系统运行期间多次出现加药量过大，导致出水电导率偏高，达不到车间纯水系统的预处理要求，从而无法回用，只能进入应急池内，随后泵至F类废水调节池。
针对上述状况，在系统运行过程中，除了加强日常巡视及检测之外;还应根据出水电导率确定加药量的范围，进行定量投加。同时废水处理站配药间的配药浓度(PAC浓度10%，PAM浓度0.5%)不应出现较大的波动，一旦配药浓度超过常规的浓度，系统加药量偏高，将会导致出水中的电导率偏高。
2.2 B、C、D、E类废水
这几类废水中的主要污染物为COD(≤100mg/L)、Cu2+(10-50mg/L)、Sn2+(≤30mg/L)、TP(10-20mg/L)，通过“混凝沉淀+MCR+RO系统”工艺处理后，浓水进入F类废水调节池，过滤水进入车间纯水处理系统。由于MCR出水进入RO处理系统，因此本工艺对MCR的运行管理至关重要。MCR膜池随着不断的过滤截留，膜池中的污染物浓度逐渐增加，如不能有效的控制膜池内污染物浓度，MCR产水污染物浓度也会随之增加，进而会引起RO前段的保安过滤器的过快堵塞(主要是可溶解性有机物)，导致RO系统的产水量降低，影响整个系统的中水回用率(>82.3%)。
因此，为避免上述情况，运行过程中除了定期排出膜池中的高浓度废水外，需要增设一套回流系统，将膜池内的水连续的回流至系统前段的调节池内，通过混凝沉淀作用对污染物进行二次沉淀。对于膜池内废水的更新周期，与膜池的容积、废水水质及水量有很大的关系，运行过程中需要根据实际情况调整。