射频电源维修中心型号RF CUBIC
一、RF Generator射频电源维修和配套直流电源
1、AE（ADVANCED ENERGY）射频电源/直流电源
2、MKS ENI射频电源/直流电源
3、DAIHEN射频电源
4、KYOSAN射频电源/直流电源
5、COMDEL射频电源
6、ADTEC射频电源
7、SEREN射频电源
二、RF MATCH(射频电源匹配网络)
1、AE （Advanced Energy） RF Match Network
2、LAM RF Match Network
3、AMAT RF Match Network
4、SEREN RF MATCH NETWORK
5、DAIHEN RF Match Network
6、SEREN RF Match Network
AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射频电源，
HiTek Power，Glassman、Spellman高压电源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流电源