射频电源维修RF generator RFPP LF-10
ASTeX AGL系列微波电源Microwave Generator2、MUEGGE Microwave Power波电源3、ASTeX Smart Match
四、直流电源
1、LAMDBA ESS/EMI直流电源
2、Delta ELEKTRONIKA直流电源
3、SORENSEN直流电源
4、AMETEK可编程电源
5、POWER TEN直流电源
6、灯丝电源、X射线电源
7、曝光灯电源USHIO（ Mercury lamp power supply）
五、微波电源发生器
1、ASTeX AGL系列微波电源Microwave Generator
2、MUEGGE Microwave Power波电源
3、ASTeX Smart Match