全自动半导体器件超声波清洗机

   2023-12-18 480

全自动半导体器件超声波清洗机欲清洗工件放入料框内专用固定夹内,由人工将料框放上入料口,等工位机械手自动将料框送入清洗机本体,上下提升机构依照PLC指定的程序将料框搬送到相应高度位置;完成对工件的洗剂清洗、纯水喷淋、纯水超声漂洗、慢提拉脱水和热风干燥后、送至清洗机出口,运送到卸料台出料。等工位机械手由气缸横向驱动,直线滑轨导向;上下提升由马达驱动,直线导轴导向;慢提拉提升机构由变频马达驱动,直线滑块导向;上下料由上下提升机构独立完成;采用触摸屏操作系统,有手动和自动切换开关及有关操作按钮,能对整个运行过程实行控制。

全自动半导体器件超声波清洗机清洗方式

全自动半导体器件超声波清洗机普通的清洗方法一般不能达到孔内,而孔内芯料的反应生成物及其他污染物会在后序工艺中会产生重复污染。无论是采用有机溶剂或是清洗液清洗都容易引入新的污染源,然而利用超声波清洗技术却可以实现无重复污染,而且能深入MCP孔内的效果。对不同材料及孔径的MCP应采用频率、声强可调的超声波进行实验,以确定实际工艺参数。对孔径6~12μmMCP的清洗,当媒液为水和乙醇时,可采用空化阈约1/3 W/cm2,声强10~20 W/cm2,频率20~120 kHz的超声波进行清洗。表1是同一段不同板号的MCP采用不同频率超声波清洗后表观及电性能测试结果。由检测结果可见,对1μm以下的小颗粒污染物,应选用频率40 kHz以上的超声波进行清洗。

全自动半导体器件超声波清洗机清洗温度

   全自动半导体器件超声波清洗机在硅片的清洗过程中,清洗液的温度是一个关键因素。合适的清洗温度能够加快油污的去除,得到佳的清洗效果。当硅片浸到清洗液中,硅片上的油污产生膨胀,油污内部以及油污与硅片之间的作用力减弱,温度越高,油污膨胀越大,这种作用力就越弱,表面活性剂分子越容易将油污撬离硅片表面。同时,温度的变化可导致胶束本身性质和被增溶物在胶束中溶解情况发生变化。聚氧乙烯型表面活性剂的聚氧乙烯链(CH2CH2O)n在水中产生水合作用,与水分子中的氢形成氢键。温度升高,氢键减弱,有的甚至断裂,水合作用减小,胶束易于形成,胶束的聚集数亦显著地增加,对油脂等污染物的增溶量增大,这种情况有利于硅片的清洗。当温度升高到60左右时,聚氧乙烯链(CH2CH2O)n加速脱水并产生卷缩,使胶束起增溶的空间减小,增容能力下降,清洗液由透明变成乳浊液,这一温度称做溶液的浊点温度。只有温度接近表面活性剂溶液的浊点温度时,增溶能力强,因而清洗液的温度定在60比较合理。

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全自动半导体器件超声波清洗机特点

一体式设计,紧凑,操作方便;

流动式操作,避免产品刮花;

配置过滤系统,有效节约水源;

全自动半导体器件超声波清洗机不锈钢网带传输,清洗效果彻底,清洗效率超高;

配置油水分离及过滤系统,提供清洗剂的利用率;

操作简单,具有手动和自动转换功能;

PLC全程式控制,自动连续步进式清洗、乾燥;

全自动半导体器件超声波清洗机不锈钢履带连续输送结构,保证传动准确,不打滑,生产效率高。

油水分离器和循环过滤系统,提高清洗效果。

加热自动恒温,温度可调:RT~100℃。

切水、循环热风烘干系统。

全自动半导体器件超声波清洗机安全防护装置,操作简便,***环保。

马达与扭力离合器带动方式的安全保护功能

多段式温度控制,可保证温度控制准确性

变频调速控制,网带速度可在0~3m/min范围内自由调整

二十四小时智能记忆工作功能,功效显著

配置运风系统,使内胆温度均匀,大大提高设备的寿命

集中排气、排液系统,使其外观整洁,环境更加清爽。

全自动半导体器件超声波清洗机售后服务承诺:

保修一年,终身维

随机的完整资料包括:设备技术图纸、说明书、电路图、产品检验合格证、保修单

负责对设备的安装调试,并负责培训设备维护、操作人

全自动半导体器件超声波清洗机维护与保养

定期排空各清洗槽贮液箱,清除槽底异物及沉积污垢;

每三个月可使用毛刷压缩空气清除超声线路板上积尘,以免形成电路故障

要定期更换过滤芯,以免过滤芯失效,增加流阻,损坏过滤泵

工作过程中应经常监测各过滤泵、风泵有无过热情况

全自动半导体器件超声波清洗机适用领域

电子行业、钟表行业、半导体行业、化纤磁性材料行业、超声波、超声波清洗机、通过式高压喷淋清洗机、电路板行业

全自动半导体器件超声波清洗机清洗过程

检查清洗槽,保证汽车超声波清洗机槽内有适量的水

按工艺要求加入适量的清洗剂

将汽车超声波发生器与超音波清洗槽进行连接

打开超声波电源开关,将功率调节按钮拧至相应位置,汽车超声波清洗机开始工作。

清洗结束时,将功率调节旋钮旋至小位置,关闭电源开关

全自动半导体器件超声波清洗机日常维护及保养

保持设备的通风、烘干和工作场所清洁,以促进其长期有效运作,并优化工作环境;

当洗涤液太脏时,应毫不迟延地加以处理,定期清理洗涤池和液体贮器内的污物,从而使洗涤池及其外观更加耐用。

设备的电气控制罐和通风管道,远离水蒸气、腐蚀性气体和灰尘,并用压缩空气定期清洗;

全自动半导体器件超声波清洗机定期测试设备的绝缘特性,定期检查易腐电气部件,检查地面连接,并确保有经验的电工将设备与地球适当连接;

经定期测试的能源,以证实其符合设备的电压要求,避免长期使用不稳定的过量或过低能源;

过滤设备和定期更换过滤器:润滑剂,如黄油、机油和其他润滑剂,应根据需要定期装上传动结构,并应定期更换牵引机齿轮油,以确保发动机使用良好的润滑油。


核心提示:半导体器件超声波清洗机
 
标签: 机械设备,清洗、清理设备,超声波清洗设备
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