射频电源维修ADVANCED ENERGY RFG3002
射频电源维修、对光伏企业生产设备如：刻蚀设备所用的国产中科院及中国微电子所研究制造的SY型射频功率源包括黑色面板和白色面板两种，功率包括：1KW、1.5KW、2KW、10KW以及进口刻蚀设备射频电源维修；PECVD所用的美国AE PEII 10K 和 AE PEII 5K等AE射频电源维修；RF射频电源维修
四、直流电源
1、LAMDBA ESS/EMI直流电2、Delta ELEKTRONIKA直流电源3、SORENSEN直流电4、AMETEK可编程电源5、POWER TEN直流电源
6、灯丝电源、X射线电源7、曝光灯电源USHIO（ Mercury lamp power supply）
五、微波电源发生器
1、ASTeX AGL系列微波电源Microwave Generator2、MUEGGE Microwave Power波电源3、ASTeX Smart Match