射频电源维修RF Generator Comdel CPS-250
射频电源常见故障及维修：
故障现象1：打开电源，电源指示灯不亮；
故障现象2：电源灯亮了，预热灯不亮；
故障现象3：电源灯亮了，预热灯亮、辉光亮，匹配器功率及反射功率，电源的功率指示和电流指示不正常。（正常的功 率指针指到220，电流指示0.4）
故障现象4：电源灯亮了，预热灯亮，辉光不亮:；
故障现象5：无功率输出；
故障现象6：有功率输出，但是调不大，或是调不到正常值。
故障现象7：无反射功率，或反射功率过大，射频功率源坏
射频电源维修中心_NRF型号NR1N450MH-01A深圳市佳轩工业自动化有限公司从事大功率射频电源研发及第三方维修技术服务供应商，射频电源维修，匹配器维修，高压电源维修，直流电源维修，微波电源维修，曝光灯电源，维修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的设备电源