射频电源维修RF generator ENI(MKS) OEM-28B
广东射频电源维修故障现象:有Ua无Ia 原因及广东射频电源维修解决办法:Ua接线断、表头上虽有Ua而电子管上没有; 2. 故障现象:有Ua,Ia小,无Pf和Pr。 原因及广东射频电源维修解决办法
射频电源维修、对光伏企业生产设备如：刻蚀设备所用的国产中科院及中国微电子所研究制造的SY型射频功率源包括黑色面板和白色面板两种，功率包括：1KW、1.5KW、2KW、10KW以及进口刻蚀设备射频电源维修；PECVD所用的美国AE PEII 10K 和 AE PEII 5K等AE射频电源维修；RF射频电源维修。我们的维修具有成功、维修速度快，等优点。