氦质谱测漏是灵敏和无破坏性的确认系统密封性，环境安全性和产品质量的测试方法。机械式的干泵可以对VMB，气瓶柜，盘面和气体管道进行无污染的测试。在把系统交给客户使用前，对于二次配的气体管路进行氦测漏，进一步的确保整个系统的密封性。测漏服务业可以含盖对机台的 CHAMBER 抽真空，喷氦，然后进行机台内部的检测。特气管道氦检漏测试验收标准：
参考标准：GB 特种气体系统工程技术规范
1.氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪，其检测精度不得低于1x10-10mbar·1/s
2.特种气体系统氦检漏的泄露率应符合下列规定：
内向测漏法测定的泄露率不得大于1x10-9mbar·1/s
3.氦检漏发现的泄漏点经修补后，应重新经过气密性试验，合格后再按规定进行氦检漏；
4.所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离；
5.系统测试完毕，应充入高纯氮气或氩气，并进行吹扫。