干式螺杆真空泵
Osaka ER100D节能型干式螺杆真空泵，ER100DC抗腐蚀性气体应用版本可选。
特点
同型号干式真空泵中的节能，小型・轻量。
ER100D：适用于轻负载洁净工艺的排气
ER100DC：使用了耐腐蚀能力强的材料，可排腐蚀性气体
应用
洁净排气
溅射装置的排气
分子泵等高真空泵的辅助泵
装载室，搬送式排气
小型实验设备的排气
吸附或搬送
分析
测量仪器的排气
真空炉排气
电子枪，离子源的排气
技术规格
| 型号 | ER100D/ER100DC（耐腐蚀型） | |
| 排气速度（L/min） | 1670 | |
| 极限压力（Pa） | 5 | |
| N2吹扫用气体流量（Pa.m³/s） | 17-20 | |
| 冷却水用量（L） | 1.5-3 | |
| 冷却水温度 | Max 30℃ | |
| 电源 | 电压（V） | 200-240 |
| 频率（Hz） | 50/60 | |
| 相数 | 三相 | |
| 电源容量（KvA） | 3.2 | |
| 功率（W） | 极限压力时 | 400 |
| 冷却方式 | 水冷 | |
| 重量（Kg） | 60 | |