智能光罩清盒洗机是一种专门用于光罩清洗的设备，它可以将光罩表面的杂质、污渍、尘埃等清除干净，从而提高光刻的精度和稳定性。它通常由多个部分组成，包括清洗液、喷头、清洗室、水槽、控制系统等。
智能光罩盒清洗机的核心部分之一，它的质量直接影响到清洗效果的好坏。目前市面上的清洗液通常有两种，一种是酸碱中和型清洗液，另一种是超纯水。酸碱中和型清洗液一般用来清洗普通的光罩，它可以有效去除污渍和杂质，但对于一些更为 复杂的污渍和有机物则效果不太好；而超纯水则完全去除不了污渍和杂质，但对于一些*为纯净的光罩则效果**。
智能光罩盒清洗机喷头是光罩清洗设备的另一个重要部分，主要负责将清洗液喷洒在光罩表面，并收集清洗后的杂质和污渍。喷头的设计要尽可能的精细，以确保清洗液均匀喷洒在光罩表面，从而避免造成清洗不均匀的问题。同时，喷头也要能够快速地切换不同的清洗液，以便于应对不同种类的光罩。
智能光罩盒清洗机清洗室和水槽则负责容纳光罩和清洗液，防止污染和外界干扰。清洗室通常是一个封闭的空间，同时也要具备排气和通风的功能，以避免清洗液蒸发或者滞留在室内。水槽则用来容纳清洗液，同时也要能够进行循环、过滤和再生，
智能光罩盒清洗机控制系统是光罩清洗设备的*后一个组成部分，它主要负责监控和控制整个清洗过程。控制系统通常包括多个传感器、计时器、液位计等，可以自动调节清洗液的喷射压力、浓度和温度，从而确保清洗的稳定性和效率。
光罩清洗设备是光刻行业中的一款重要设备，它可以提高光刻的精度和效率，同时也节省了人力和物力成本。随着科技的不断进步，光罩清洗设备也在不断地改进和升级，以适应不同种类的光罩清洗需要。
智能光罩盒清洗机应用9imch以下光刻版尺寸清洗制程；
触控人机搭配PLC的软件控制，对各制程步骤进行参数控制；
使用无刷式马达控制系统，转速*高可达3000rpm，转速精度2rpm；
化学品摆臂清洗系统；
HVS摆臂清洗系统；
DI Water正/背面清洗系统；
智能光罩盒清洗机高转速旋干系统;