便携型
小型、轻量化、易搬运
抗外部干扰强
■ 低噪音
转子组件省略同步齿轮的设置，实现无噪音排气
配备隔音罩
■ 洁净排气
无油蒸气和粒子的逆流
■ 空冷型
仅电力需求，无需冷却水
■ 低震动
螺杆型转子设计，有效防止排气脉冲
■ 高速排气
内置旁通系统，大气压附近排气速度快
■ 免维修
因转子组件省略同步齿轮的设置，可无需使用润滑油
免维修，无需更换轴封及润滑油
■ 高效节能
省电设计
■ 标准配置气镇功能
避免水蒸气凝结于真空泵中
■ 国际规格
符合CE, SEMI, NRTL规格
用途
SEM、光刻
分析设备
医疗设备
加速器、离子源、EB-Gun
装载室/ 搬送室排气
一般产业
PVD
R&D
规格
外观尺寸表
性能曲线
| 型号 | DSP251 | DSP501 | ||
| 排气速度 | 无气镇 | L/min | 230 | 500 |
| 气镇 | L/min | 200 | 430 | |
| 到达压力 | 无气镇 | Pa | 0.5 | |
| 气镇 | Pa | 2 | ||
| 接口规格 | 吸气口 | - | KF25 | KF40 |
| 排气口 | - | KF25 | ||
| 质量（估值） | kg | 16 | 21 | |
| 输入电源 | 相数 | 单相 | ||
| 电压 | V | AC100-230 ±10%(50/60Hz) | ||
| 功率 | VA | 450 | 660 | |
| 连接 | - | 平川Hutec制造 CM11 | ||
| 消费电力 | 到达压力时 | W | 240 | 270 |
| 大 | 380 | 600 | ||