新型磁悬浮轴承型涡轮分子泵TG397M

省电力设计

工作数据，轴承接触次数，机种情报等都可存储于分子泵本体                                                                                                                                     　　         ※进行保养时即使更换控制器，数据也可进行转移

多种通信规格(可对应EtherCAT)

国际规格

符合CE，SEMI-S2，NRTL规格