AE Apex5513 5.5KW MN 0 射频维修
RF（射频系列）RFG：RFG 80、RFG 1250、RFG 1250 HALO、RFG 1251、RFG 3000、RFG 3001、RFG 5500、RFG 2K-2V、RFDS 1250、RFDS 1250-A、RFDS 3000、RFDS 2Kw-2KV
APEX：Apex 1513、Apex 2027、Apex 3013、Apex 4027、Apex 5513、Apex 7kW/13、Apex 10kW/13、Apex 3513、Apex 10013、Apex 8013
Atlas 2、Atlas 1513、Atlas 3013、Atlas 2504、Atlas 2027、Atlas 2012、Atlas 4012、Atlas 5002、Atlas 5012、Atlas 5013、Atlas 5027、Rapid F
维修德国 SINGULUS 溅镀电源、美国 MKS/ENI 溅镀电源、ADVANCED ENERGY 美国 AE 溅镀电源、RF 射 频电源、DC 直流电源、AC 交流电源。更专业的技术，更迅速的响应高速增长的等离子体薄膜制造工艺之电源的维修