全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗设备槽体结构：
1、每槽设四面溢流口，溢水槽宽35mm，各槽均为独立循环槽，由循环泵将洗剂由储液箱抽出经过滤后再运回清洗槽，即子母槽循环。
2、设置独立循环过滤系统。
3、全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗设备各槽底部设排液阀且互相串联至总排管。
4、槽内设温度感应器，温控范围：RT-100。
5、槽外设置抛动。
全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗设备慢拉槽体结构：
槽面设齿状溢流结构，纯水由纯水预热箱进入。槽外贴保温棉厚10mm。
槽体设“OMRON”数显温控系统，检测槽内工作温度，温控范围，常温～120.
槽体上部设抽风小孔，将溢出水蒸汽抽走，防止水汽再次附着于提出的产品上。
全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗设备热风烘干槽配置：
材质：采用进口SUS304，厚2mm不锈钢板，外包不锈钢沙胶板，中间填岩棉。
结构：每个烘干槽配置一套气缸，气缸带动产品一起运动，形成密封盖。
全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗设备加热系统：外置式不锈钢加热。内置不锈钢加热管，功率：12KW；配OMRON数显式温控系统，监控箱内热风温度。温控范围：常温～120.
FFU压风系统机构：在烘干槽正上方的机架顶部设置一个FFU层流送风单元。由上往下吹风形成负压风，致使工件加热后附着物不易粘附。
FFU压风系统功能：因慢拉槽液温较高，如无顶部的FFU压风。大量的水汽将往上腾，水汽会再次附着于提出的产品上，安装FFU后，可在上方形成局部正压，大部分水汽从缸面的抽气口抽走。
全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗设备保修期：
本设备在运行中，如由于设备本身质量问题，实行一年免费保修，如由于用户在使用过程中操作不到而造成的损失，我方负责保修，但收取相应的材料费，设备实行终生有偿保修。
全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗设备特点：
PLC+彩色人机界面控制，多层次密码权限，工艺参数随机可调，工作状态可视。
独特先进的龙门等工位机械手，运行稳定，定位jingque，传动无粉尘，维护无污染，升降和横移有效分离，相互工作无干涉，故障易判断及排除。
全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗设备先进的水路系统，确保水路完全循环无死水状态，防止水质变化致使二次污染，管件全KF快速接头连接，易维护保养，整机入水口配置电阻率仪及liuliang计，监控如水状态及用量。
整机内嵌式节水盘及漏液检知，防止漏水影响车间洁净状态。
后段配FFU，确保区域处于正压状态，防止二次污染
全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗设备独特的红外线干燥方式，节能、洁净
先进的在线式纯水再生系统及在线式废水回用系统，tigao纯水利用率及液体温度损失（此为选配项目）
超声波发生器采用它激式发震方式，带扫描电路，超声波功率连续可调，信号强弱用光电显示。
全自动碳化硅陶瓷基板超声波清洗设备采用40KHZ、68KHZ等高频超声波频率，功率可调。
清洗部分与热风干燥部份分别独立电器控制柜。
采用环保型水溶剂洗涤、纯水漂洗、热风干燥，为环保型清洗机。
设有抛动系统、超声波系统、过滤循环系统等